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CMOS Cantilever Sensor Systems

Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications (Sprache: Englisch)
 
 
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This book introduces the use of industrial CMOS processes to produce arrays of nanomechanical cantilever transducers with on-chip driving and signal conditioning circuitry. These cantilevers are familiar from Scanning Probe Microscopy (SPM) and allow the...
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