Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen

Entwicklungen, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik
 
 
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Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften...
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