In-situ Prozessanalyse der CVS-Synthese von nano-kristallinem Siliziumkarbid mit Hilfe eines Aerosolmassenspektrometers

 
 
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Gasphasenprozesse sind eine Schlüsseltechnologie zur kontrollierten Herstellung ultrafeiner Pulver in großem Maßstab. Die Kenntnis über Bildung und Wachstum von Nanopartikeln aus der Gasphase ist eine grundlegende Voraussetzung zur...
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Gasphasenprozesse sind eine Schlüsseltechnologie zur kontrollierten Herstellung ultrafeiner Pulver in großem Maßstab. Die Kenntnis über Bildung und Wachstum von Nanopartikeln aus der Gasphase ist eine grundlegende Voraussetzung zur...

Kommentar zu "In-situ Prozessanalyse der CVS-Synthese von nano-kristallinem Siliziumkarbid mit Hilfe eines Aerosolmassenspektrometers"

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