Laser-based Etching Technique for Micro/Nano Patterning of Transparent Materials

Laser-Induced Backside Wet Etching (LIBWE)

Rico Böhme

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Laser-induced backside wet etching (LIBWE) is a promising technique for direct patterning of trans-parent materials with high quality. LIBWE causes laser etching at the back surface of the transparent sample that is in contact with an absorbing...

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