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Lehrbuch Mikrosystemtechnik

Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen
 
 
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Dieses Lehrbuch beginnt mit der Einführung in typische Anwendungen der Mikrosystemtechnik, so dass eine konkrete Vorstellung von Mikrosystemen vermittelt wird. Auf diesen Anwendungen baut das Buch auf, indem durchgängig auf sie zur Erläuterung der Inhalte...
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