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Mechanische und tribologische Charakterisierung dünner Schichten mit Hilfe rastersondenbasierter Verfahren

Diss.
 
 
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In dieser Arbeit werden vornehmlich dünne amorphe Kohlenwasserstoffschichten wie auch Kohlenstoffnitritschichten mit Schichtdicken im Bereich zwischen einig en Nanometern bis hin zu einigen hundert Nanometern mit Hilfe einer Kombination aus...
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