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MEMS Microscanner - vom Bauelement zur Applikation

Entwicklung eines Demonstrationsmoduls, basierend auf einem MEMS-Scannerspiegel, zur 1 bzw. 2 dimensionalen Ablenkung von Licht
 
 
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Dieses Buch beschreibt die Entwickulung sowie den Aufbau eines miniaturisierten Demonstrationsmodul, bestehend aus dem Mikroscannerspiegel des Fraunhofer IPMS in Dresden, einem kompakten Gehäuse und integrierter Ansteuerung. Das Modul erlaubt es...
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