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Metal Based Thin Films for Electronics

(Sprache: Englisch)
 
 
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Präparation, Charakterisierung und Eigenschaften komplexer, metallbasierter dünner Schichten: Dieses aktuelle Handbuch bespricht die wichtigsten Aspekte dieses Gebiets und wendet sich vorrangig an Spezialisten aus Forschung und (Mikroelektronik-)Industrie....
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