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Piezo-aktuierte mikro-opto-elektro-mechanische Systeme für aktive Mikrooptik.

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In den letzten Jahren steigt der Bedarf an kompakten aktiven mikrooptischen Systemen, welche die optischen Eigenschaften gezielt während des Betriebs anpassen können. Die vorliegende Dissertation befasst sich mit der Entwicklung und Herstellung neuartiger,...
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