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Petershans, A: Vom Werkstoff zum Werkzeug

 
 
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Im ersten Sinnabschnitt dieser Arbeit wurde mit TOF-SIMS Untersuchungen nachgewiesen, dass sich die Ausbildung eines Aminosilanfilms durch eine Maske, die mittels µCP erzeugt wurde, wirkungsvoll begrenzen lässt. Damit ist eine nahezu perfekt selektive...
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