MEMS Reference Shelf: Photonic Microsystems (eBook / PDF)

Micro and Nanotechnology Applied to Optical Devices and Systems

Olav Solgaard

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This book describes Microelectromechanical systems (MEMS) technology and demonstrates how MEMS allow miniaturization, parallel fabrication, and efficient packaging of optics, as well as integration of optics and electronics. The book shows how...

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