Microsystem Technology (PDF)
(Sprache: Englisch)
This completely revised edition of a bestselling concise introduction to microsystems technology includes the latest trends in this emerging scientific discipline. The chapters on silicium and LIGA technology are greatly expanded, whilst new topics include...
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Produktdetails
Produktinformationen zu „Microsystem Technology (PDF)“
This completely revised edition of a bestselling concise introduction to microsystems technology includes the latest trends in this emerging scientific discipline. The chapters on silicium and LIGA technology are greatly expanded, whilst new topics include application aspects in medicine and health technology, lithography and electroplating.
Inhaltsverzeichnis zu „Microsystem Technology (PDF)“
General Introduction to Microstructure Technology The Parallels to Microelectrics The Basis and Materials in Microtechnology Basic Principles of Vacuum Technology Litography The Silicon Micromechanics The LIGA Process Alternative Process of Microstructuring Construction and Junction Techniques (CJT) System Technology
Bibliographische Angaben
- Autoren: Wolfgang Menz , Jürgen Mohr , Oliver Paul
- 2008, 1. Auflage, 500 Seiten, Englisch
- Verlag: Wiley-VCH GmbH
- ISBN-10: 3527613013
- ISBN-13: 9783527613014
- Erscheinungsdatum: 11.07.2008
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 37 MB
- Mit Kopierschutz
Sprache:
Englisch
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