Semiconductor Strain Metrology: Principles and Applications (PDF)
(Sprache: Englisch)
This book surveys the major and newly developed techniques for semiconductor strain metrology. Semiconductor strain metrology has emerged in recent years as a topic of great interest to researchers involved in thin film and nanoscale device...
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Produktinformationen zu „Semiconductor Strain Metrology: Principles and Applications (PDF)“
This book surveys the major and newly developed techniques for semiconductor strain metrology. Semiconductor strain metrology has emerged in recent years as a topic of great interest to researchers involved in thin film and nanoscale device characterization. This e-book employs a tutorial approach to explain the principles and applications of each technique specifically tailored for graduate students and postdoctoral researchers. Selected topics include optical, electron beam, ion beam and synchrotron x-ray techniques. Unlike earlier references, this e-book specifically discusses strain metrology with both depth and focus.
Bibliographische Angaben
- 2012, Englisch
- Herausgegeben: Terence K.S. Wong
- ISBN-10: 1608053598
- ISBN-13: 9781608053599
- Erscheinungsdatum: 17.05.2012
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 11 MB
- Mit Kopierschutz
Sprache:
Englisch
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