Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XI (PDF)
Selected, peer reviewed papers from the 11th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), September 17-19, 2012, Gent, Belgium
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Selected, peer reviewed papers from the 11th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), September 17-19, 2012, Gent, Belgium
- 2012, 350 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: Paul Mertens, Marc Meuris, Marc Heyns
- Verlag: Trans Tech Publications
- ISBN-10: 3038139084
- ISBN-13: 9783038139089
- Erscheinungsdatum: 27.12.2012
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