Estudo da deposição química de Níquel em Microeletrônica
(Sprache: Portugiesisch)
Neste trabalho mostramos o estudo e a caracterização de diversos processos de deposição química autocatalítica de níquel para aplicações em microeletrônica e nanotecnologia. São mostrados processos de deposição química por diversas técnicas, bem como os...
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Klappentext zu „Estudo da deposição química de Níquel em Microeletrônica “
Neste trabalho mostramos o estudo e a caracterização de diversos processos de deposição química autocatalítica de níquel para aplicações em microeletrônica e nanotecnologia. São mostrados processos de deposição química por diversas técnicas, bem como os resultados de análises de composição química, rugosidade superficial e espessura de filmes de Níquel e ligas Níquel-Fósforo pelas técnicas de RBS, AFM, TRXFA. Também é mostrada a caracterização elétrica de capacitores MOS construídos com essa técnica de deposição.
Bibliographische Angaben
- Autor: Angelo Eduardo Battistini Marques
- 2016, 128 Seiten, Maße: 22 cm, Kartoniert (TB), Portugiesisch
- Verlag: Novas Edicioes Academicas
- ISBN-10: 3330735996
- ISBN-13: 9783330735996
Sprache:
Portugiesisch
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