Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology XIII (PDF)
GADEST 2009
Selected, peer reviewed papers from the XIIIth International Autumn Meeting, Döllnsee-Schorfheide, north of Berlin, Germany, September 26 - October 02, 2009
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GADEST 2009
Selected, peer reviewed papers from the XIIIth International Autumn Meeting, Döllnsee-Schorfheide, north of Berlin, Germany, September 26 - October 02, 2009
- 2009, 610 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: Martin Kittler, H. Richter
- Verlag: Trans Tech Publications
- ISBN-10: 3038133698
- ISBN-13: 9783038133698
- Erscheinungsdatum: 28.10.2009
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