Post-Processing Techniques for Integrated MEMS (PDF)
This groundbreaking resource presents cutting-edge post-processing techniques for the monolithic integration of MEMS. You learn how to select MEMS structural layers that can be processed on top of standard pre-fabricated electronics and will optimize the...
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Produktinformationen zu „Post-Processing Techniques for Integrated MEMS (PDF)“
This groundbreaking resource presents cutting-edge post-processing techniques for the monolithic integration of MEMS. You learn how to select MEMS structural layers that can be processed on top of standard pre-fabricated electronics and will optimize the performance and reliability of the MEMS device. Supported with over 240 illustrations, the book details a modular integration process that won't modify the electronics fabrication process or impose any limitation for optimizing the physical properties of the MEMS structural layers.
Bibliographische Angaben
- Autor: Sherif Sedky
- 2005, 234 Seiten
- ISBN-10: 1580539025
- ISBN-13: 9781580539029
- Erscheinungsdatum: 01.01.2005
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