Handbuch Mikrotechnik
Die Mikrotechnik hat sich in den letzten zehn Jahren ein weites Anwendungsfeld erobert. Ob im Airbag (Beschleunigungssensor) oder CD-Player (Laserabtastsystem), im Endoskop oder Analysegerät, Mikrotechnik wird vom Endanwender oft gar nicht wahrgenommen. In...
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Produktinformationen zu „Handbuch Mikrotechnik “
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Die Mikrotechnik hat sich in den letzten zehn Jahren ein weites Anwendungsfeld erobert. Ob im Airbag (Beschleunigungssensor) oder CD-Player (Laserabtastsystem), im Endoskop oder Analysegerät, Mikrotechnik wird vom Endanwender oft gar nicht wahrgenommen. In vielen Industriezweigen spielt sie dennoch eine immer größere Rolle. Ein wichtiger Grund hierfür ist, dass viele Verfahren das Laborstadium verlassen haben und dass kostengünstiger produziert werden kann. Trotzdem hat die Mikrotechnik ihr Potenzial noch längst nicht ausgeschöpft. Ein Grund dafür ist sicher auch fehlendes Fachwissen der Entwicklungsingenieure in Bezug auf Verfahren und Einsatz der Mikrotechnik. Das vorliegende Buch schafft hier Abhilfe. Es ist das erste Werk, in dem die modernen Verfahren der Mikrotechnik übersichtlich und praxisnah dargestellt werden. Das Buch ist in 5 Teile gegliedert:- Entwurf und Simulation von Mikrosystemen
- Anwendung konventioneller Fertigungsverfahren auf die Mikrotechnik
- Anw endung von Prozessen der Halbleiterfertigung auf die Mikrotechnik
- Herstellung von Mikrostrukturen aus Glas
- Herstellung komplexer Mikrostrukturprodukte
Bibliographische Angaben
- Maße: 24,5 cm
- Hrsg. v. Wolfgang Ehrfeld
- Verlag: Hanser Fachbuchverlag
- EAN: 9783446215061
Lese-Probe zu „Handbuch Mikrotechnik “
Teil A Entwurf und Simulation von Mikrosystemen- Entwurf und Simulation von Mikrosystemen
Teil B Anwendung konventioneller Fertigungs-verfahren auf die Mikrotechnik
- Spanende Mikrobearbeitung
- Mikrofunkenerosion
- Elektrochemische Abscheidungsprozesse
- Laser-Mikrobearbeitung
- Mikroabformung
Teil C Anwendung von Prozessen der Halbleiterfertigung auf die Mikrotechnik
- Photolithographie
- Elektronenstrahllithographie
- Röntgenlithographie und Röntgentiefenlithographie
- Ätztechniken
- Beschichtung und Ionenimplantation
Teil D Herstellung von Mikrostrukturen aus Glas
- Ionenaustauschverfahren
- Photostrukturierung von Glas
Teil E Herstellung komplexer Mikrostrukturprodukte
- LIGA
- AVT/Mikromontage
- Qualitätssicherung, Messtechnik
Autoren-Porträt
Prof. Wolfgang Ehrfeld ist Leiter des Instituts für Mikrotechnik in Mainz, das führend in der Entwicklung und Herstellung von mikrotechnischen Baustein n für die Industrie ist.
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