Vissing, K: Aufskalierung plasmapolymerer Beschichtungsverfa

Die Plasmapolymerisation ist eine technisch interessante und akzeptierte Beschichtungstechnik. Das Verfahren erzeugt auf umweltfreundliche Art und Weise die unterschiedlichsten Dünnschichten mit den vielfältigsten Oberflächenfunktionen. Hinderlich für die breite und wirtschaftlich erfolgreiche Einführung ist unter anderem die Unsicherheit in Bezug auf die Aufskalierung solcher Plasmapolymerisationsprozesse auf großvolumige Reaktoren.
Wissenschaftliche Arbeiten haben sich bisher hauptsächlich mit der Steigerung der Abscheiderate auseinander gesetzt und somit einen Beitrag zur effizienten Gestaltung von Plasmaprozessen geliefert. Ferner wurden Kenngrößen entwickelt, insbesondere der Yasuda - Parameter, um einen Plasmaprozess auf verschiedenen Reaktoren mit ggf. unterschiedlichen Anregungsarten zu beschreiben und miteinander zu vergleichen. Bei all den Arbeiten liegt das Hauptaugenmerk auf energieintensive Plasmaprozesse und deren Abscheiderate. Energiearme Prozesse dagegen werden nur sehr selten betrachtet, da sie unter anderem nur geringe Abscheideraten zulassen. Trotzdem bieten sie technisch interessante Anwendungsmöglichkeiten, so dass gerade ihrer Aufskalierung eine besondere Bedeutung zukommt.
Hieraus ergab sich die Motivation, die Aufskalierung energiearmer Plasma - Prozesse zu untersuchen. Gerade solche Prozesse benötigen großvolumige Reaktoren, damit sie ihren Nachteil der geringen Abscheiderate durch große Stückzahlen pro Batch ausgleichen können.
Ausgangspunkt für diese Arbeit war ein spezieller plasmapolymerer Beschichtungsprozess, der bereits auf einem kleinvolumigen Laborreaktor entwickelt worden war. Hierbei handelt es sich um eine spezielle Ausführungsform der so genannten plasmapolymeren Trennschicht (DE 10034737). Der ausgewählte Beschichtungsprozess ist der Kategorie der strukturerhaltenden Plasmapolymerisationsprozesse zuzuordnen; er arbeitet im Precursorüberschuss.
Bei der Entwicklung dieser Beschichtung hatte sich gezeigt, wie empfindlich