Handbook fo Materials for Microelectronic

(Sprache: Englisch)
 
 
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In diesem Handbuch wurden Informationen und Datenmaterial gesammelt, die bisher nur in der Originalliteratur verstreut zu finden waren. Thema sind die Eigenschaften von Werkstoffen, die in die Mikroelektronik-Industrie zum Entwurf, zur Herstellung und zur...
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