Herstellung, Charakterisierung und Anwendung von ionenstrahlgesputterten optischen Schichten

 
 
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In dieser Arbeit wird die Herstellung optischer Schichten mittels reaktiver Ionenstrahlsputterbeschichtung beschrieben. Die mit diesem Verfahren hergestellten dünnen Schichten haben eine hohe Qualität mit minimalster Absorption und sind daher...
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