Semiconductor Micromachining, 2 Vols.
Fundamental Electrochemistry and Physics / Techniques and Industrial Applications
(Sprache: Englisch)
Ein umfassender Führer durch physikalische Grundlagen und chemische Aspekte der Halbleiterverarbeitung, der eine Fülle von Themen von der chemischen Reaktion bis zur Mikrostrukturierung abdeckt. Geboten wird auch eine einzigartige Sammlung von produktionsorientierten Aspekten. (02/98)
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Ein umfassender Führer durch physikalische Grundlagen und chemische Aspekte der Halbleiterverarbeitung, der eine Fülle von Themen von der chemischen Reaktion bis zur Mikrostrukturierung abdeckt. Geboten wird auch eine einzigartige Sammlung von produktionsorientierten Aspekten. (02/98)
Bibliographische Angaben
- Autor: S. A. Campbell
- 1998, 1. Auflage., XXVIII, 706 Seiten, Maße: 23,9 cm, Gebunden, Englisch
- Herausgegeben von Campbell, S. A.; Lewerenz, Hans-Joachim
- Verlag: Wiley & Sons
- ISBN-10: 0471980846
- ISBN-13: 9780471980841
Sprache:
Englisch
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