Sensorik: Bd.10 Mikrosensorik und Mikroelektronik

Vom physikalischen Effekt zur Grundstruktur und zum Mikrosystem
 
 
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Das Buch behandelt physikalische und technische Grundlagen der Schaltungselemente in Mikrosystemen mit elektronischen, optoelektronischen, mikroakustischen und mikromechanischen Verarbeitungsprinzipien geschlossen und mathematisch begründet und gibt einen...
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