Sensorik / Untersuchung und Herstellung eines spektral-abstimmbaren Infrarot-Sensors in Silizium-Mikromechanik-Technologie für Anwendungen bei Zimmertemperatur
Dissertationsschrift
Untersuchung und Herstellung eines spektral-abstimmbaren Infrarot-Sensors in Silizium-Mikromechanik-Technologie für Anwendungen bei Zimmertemperatur
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Untersuchung und Herstellung eines spektral-abstimmbaren Infrarot-Sensors in Silizium-Mikromechanik-Technologie für Anwendungen bei Zimmertemperatur
Bibliographische Angaben
- Autor: Dirk Rossberg
- 2019, 2., unveränderte Auflage, 206 Seiten, 6 farbige Abbildungen, 65 Schwarz-Weiß-Abbildungen, Maße: 14,5 x 20,5 cm, Kartoniert (TB), Deutsch
- Verlag: Utz Verlag
- ISBN-10: 3831683751
- ISBN-13: 9783831683758
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