Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis.
Dissertationsschrift
In dieser Dissertation wird eine Methodik zur Entwicklung von Beschleunigungssensoren, die speziell hochfrequente Belastungen hoher Amplitude messen sollen, vorgestellt. Mithilfe der Methodik, welche gleichzeitig Sensitivität und Bandbreite des Sensors...
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Klappentext zu „Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis. “
In dieser Dissertation wird eine Methodik zur Entwicklung von Beschleunigungssensoren, die speziell hochfrequente Belastungen hoher Amplitude messen sollen, vorgestellt. Mithilfe der Methodik, welche gleichzeitig Sensitivität und Bandbreite des Sensors optimiert, wird ein piezoresistives Design entwickelt und gefertigt, das höhere Leistungsdaten aufweist als existierende Lösungen.
Bibliographische Angaben
- Autor: Robert Külls
- 2016, 224 Seiten, mit zahlreichen Abbildungen, Maße: 14,7 x 20,5 cm, Kartoniert (TB), Deutsch
- Herausgegeben von Thoma, Klaus; Hiermaier, Stefan
- Herausgegeben: Klaus Thoma, Stefan Hiermaier
- Verlag: Fraunhofer Verlag
- ISBN-10: 383960902X
- ISBN-13: 9783839609026
- Erscheinungsdatum: 03.03.2016
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