Viereck, V: Realisierung von Mikrospiegelarrays

Großflächig hergestellte Mikrospiegelanordnungen sollen zukünftig im Scheibenzwischenraum von Isolierverglasungen implementiert werden und haben das Potenzial, effektive TageslichtlenkungsundWärmeregulierungsfunktionen in Gebäuden zu übernehmen. Solche Mikrospiegelanordnungen wurden in Form einer Machbarkeitsstudie im Labormaßstab entwickelt und hergestellt. Der Entwurf eineselementaren Designs sowie des mikrosytemtechnologischen Prozessablaufes erfolgte von Grund auf.Ausgehend vom Stand der Wissenschaft und Technik seitens der Systeme zur Tageslichtlenkung und seitens der Mikrosystemtechnik werden Anforderungen an Mikrospiegelanordnungen zur Tageslichtlenkung definiert und ein grundlegendes Mikrospiegeldesign evaluiert. Darauf aufbauend wird ein mikrosystemtechnologischerProzessablauf entwickelt und vorgestellt. Die Entwicklung berücksichtigt die Möglichkeiten eines späteren Transfers der Prozesse auf industrielle Großanlagen.Der entwickelte mikrosystemtechnologische Prozess basiert auf oberflächenmikromechanischen Technologien. Er bedient sich einer Opferschichttechnologie mit einem SelfAssemblingSchritt.Dieser Schritt ermöglicht ein Aufrichten der Mikrospiegel am Ende des Herstellungsprozesses. Mittels einer elektrischen Steuergröße können die Mikrospiegel nach dem Prinzip der elektrostatischen Aktuierung aus der aufgerichteten Position in die Substratebene bewegt werden. Unter Verwendung der entwickelten mikrosystemtechnologischen Prozesse wird die Machbarkeit von Mikrospiegelmodulen einer Größe von 6 cm x 6 cm im Labormaßstab gezeigt. Die elektrostatische Aktuierung der Mikrospiegel wird mit elektrischen Spannungen von 80 Volt erreicht.