Advanced Technologies Based on Wave and Beam Generated Plasmas / NATO Science Partnership Subseries: 3 Bd.67 (PDF)
This book draws together three areas of work on plasma technologies: advanced efforts based on wave generated, high frequency plasmas, plasma assisted ion implantation, and electron beam generated plasma. It lays a foundation for the application of...
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This book draws together three areas of work on plasma technologies: advanced efforts based on wave generated, high frequency plasmas, plasma assisted ion implantation, and electron beam generated plasma. It lays a foundation for the application of sources in industry and various research areas
- 2013, 1999, 569 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: H. Schlüter, A. Shivarova
- Verlag: Springer Netherlands
- ISBN-10: 9401706336
- ISBN-13: 9789401706339
- Erscheinungsdatum: 29.06.2013
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- Dateiformat: PDF
- Größe: 53 MB
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