Etching in Microsystem Technology (PDF)
(Sprache: Englisch)
Klein aber fein!
Mikrobauelemente in Form elektronischer Chips sind inzwischen jedermann ein Begriff. Aber die kleinen Zauberer können mehr. Komplette miniaturisierte Systeme werden in immer stärkerem Maße eingesetzt, technische Anwendungen erfolgen in...
Mikrobauelemente in Form elektronischer Chips sind inzwischen jedermann ein Begriff. Aber die kleinen Zauberer können mehr. Komplette miniaturisierte Systeme werden in immer stärkerem Maße eingesetzt, technische Anwendungen erfolgen in...
sofort als Download lieferbar
eBook (pdf)
169.99 €
- Lastschrift, Kreditkarte, Paypal, Rechnung
- Kostenloser tolino webreader
Produktdetails
Produktinformationen zu „Etching in Microsystem Technology (PDF)“
Klein aber fein!
Mikrobauelemente in Form elektronischer Chips sind inzwischen jedermann ein Begriff. Aber die kleinen Zauberer können mehr. Komplette miniaturisierte Systeme werden in immer stärkerem Maße eingesetzt, technische Anwendungen erfolgen in den unterschiedlichsten Bereichen wie Kommunikationstechnik, Produktionstechnik, Medizintechnik und Umwelttechnik. Lithographische Ätzverfahren sind die wichtigste Technologie zur Formgebung der Bauteile, ihre sichere Beherrschung erst führt zu Bauteilen in der angestrebten Qualität und mit der nötigen Leistung.
Die wichtigsten mikrolithographischen Naß- und Trockenätzverfahren stellt dieses Buch vor. Um die Charakteristika und Einsatzgebiete der einzelnen Verfahren zu beschreiben, werden ihre Grundlagen erläutert und ihre Bedeutung für die mikrotechnische Struktur des Bauelementes behandelt.
Dieses Buch ist in zwei Teile gegliedert. Im allgemeinen Teil wird das Verständnis für die jeweiligen Verfahren, ihre Anwendungsmöglichkeiten und Vorzüge vermittelt. Der zweite Teil bietet einen Katalog ausgewählter Vorschriften und Parameter und gibt damit allen mit lithographischen Mikrotechniken Arbeitenden einen Leitfaden zur Auswahl geeigneter Ätzverfahren.
Mikrobauelemente in Form elektronischer Chips sind inzwischen jedermann ein Begriff. Aber die kleinen Zauberer können mehr. Komplette miniaturisierte Systeme werden in immer stärkerem Maße eingesetzt, technische Anwendungen erfolgen in den unterschiedlichsten Bereichen wie Kommunikationstechnik, Produktionstechnik, Medizintechnik und Umwelttechnik. Lithographische Ätzverfahren sind die wichtigste Technologie zur Formgebung der Bauteile, ihre sichere Beherrschung erst führt zu Bauteilen in der angestrebten Qualität und mit der nötigen Leistung.
Die wichtigsten mikrolithographischen Naß- und Trockenätzverfahren stellt dieses Buch vor. Um die Charakteristika und Einsatzgebiete der einzelnen Verfahren zu beschreiben, werden ihre Grundlagen erläutert und ihre Bedeutung für die mikrotechnische Struktur des Bauelementes behandelt.
Dieses Buch ist in zwei Teile gegliedert. Im allgemeinen Teil wird das Verständnis für die jeweiligen Verfahren, ihre Anwendungsmöglichkeiten und Vorzüge vermittelt. Der zweite Teil bietet einen Katalog ausgewählter Vorschriften und Parameter und gibt damit allen mit lithographischen Mikrotechniken Arbeitenden einen Leitfaden zur Auswahl geeigneter Ätzverfahren.
Inhaltsverzeichnis zu „Etching in Microsystem Technology (PDF)“
Introduction Features of Microtechnical Etching Wet Chemical Etching Methods Dry-etching Methods Microforming by Etching of Locally Changed Material Selected Recipes
Bibliographische Angaben
- Autor: Michael Köhler
- 2008, 1. Auflage, 368 Seiten, Englisch
- Verlag: Wiley-VCH GmbH
- ISBN-10: 352761379X
- ISBN-13: 9783527613793
- Erscheinungsdatum: 11.07.2008
Abhängig von Bildschirmgröße und eingestellter Schriftgröße kann die Seitenzahl auf Ihrem Lesegerät variieren.
eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 16 MB
- Mit Kopierschutz
Sprache:
Englisch
Kopierschutz
Dieses eBook können Sie uneingeschränkt auf allen Geräten der tolino Familie lesen. Zum Lesen auf sonstigen eReadern und am PC benötigen Sie eine Adobe ID.
Kommentar zu "Etching in Microsystem Technology"
0 Gebrauchte Artikel zu „Etching in Microsystem Technology“
Zustand | Preis | Porto | Zahlung | Verkäufer | Rating |
---|
Schreiben Sie einen Kommentar zu "Etching in Microsystem Technology".
Kommentar verfassen