Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, Three-Volume Set (PDF)
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The first volume in this set offers a rigorous theoretical treatment of micro- and nanosciences and includes sections on solid-state physics, quantum mechanics, crystallography, and fluidics. The second volume presents a very large set of manufacturing techniques for micro- and nanofabrication and covers different forms of lithography, material removal processes, and additive technologies. The third volume focuses on manufacturing techniques and applications of Bio-MEMS and Bio-NEMS. The text is illustrated in color throughout and contains worked-out examples and end-of-chapter problems. Ancillaries are available with qualifying course adoption.
- Autor: Marc J. Madou
- 2018, 3. Auflage, 1992 Seiten, Englisch
- Verlag: Taylor & Francis
- ISBN-10: 1482274663
- ISBN-13: 9781482274660
- Erscheinungsdatum: 14.12.2018
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- Dateiformat: PDF
- Größe: 322 MB
- Ohne Kopierschutz
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