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Integration passiver Bauelemente in Strukturen der Mikroelektronik durch Inkjetdruck nanoskaliger Partikel (PDF)

 
 
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Im aufstrebenden Technologiefeld der Nanotechnik ist einer der Forschungsschwerpunkte die Herstellung nanoskaliger Partikel. Mit der piezoelektrischen Inkjettechnik steht eine Strukturierungs- und Schichttechnik zur Verfügung, mit der diese Nanopartikel...
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