Laser-Assisted Microtechnology / Springer Series in Materials Science Bd.19 (PDF)
(Sprache: Englisch)
Laser-Assisted Microtechnology deals with laser applications to a wide variety of problems in microelectronic design and fabrication. It covers micromachining of thin films, microprocessing of materials, maskless laser micropatterning and laser-assisted...
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Produktinformationen zu „Laser-Assisted Microtechnology / Springer Series in Materials Science Bd.19 (PDF)“
Laser-Assisted Microtechnology deals with laser applications to a wide variety of problems in microelectronic design and fabrication. It covers micromachining of thin films, microprocessing of materials, maskless laser micropatterning and laser-assisted synthesis of thin-film systems. The monograph describes fundamental aspects and practical details of the technological processes as well as the optimum conditions for their realization.
Bibliographische Angaben
- Autoren: Simeon M. Metev , Vadim p. Veiko
- 2013, 1994, 240 Seiten, Englisch
- Verlag: Springer Berlin Heidelberg
- ISBN-10: 3642973272
- ISBN-13: 9783642973277
- Erscheinungsdatum: 08.03.2013
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 28 MB
- Ohne Kopierschutz
- Vorlesefunktion
Sprache:
Englisch
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