Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication / Springer Series in Materials Science Bd.24 (PDF)
(Sprache: Englisch)
A discussion of the different mechanisms responsible for contamination together with a survey of their impact on device performance. The author examines the specific properties of main and rare impurities in silicon, as well as the detection methods and...
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Produktinformationen zu „Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication / Springer Series in Materials Science Bd.24 (PDF)“
A discussion of the different mechanisms responsible for contamination together with a survey of their impact on device performance. The author examines the specific properties of main and rare impurities in silicon, as well as the detection methods and requirements in modern technology. Finally, impurity gettering is studied along with modern techniques to determine gettering efficiency. Throughout all of these subjects, the book presents only reliable and up-to-date data so as to provide a thorough review of recent scientific investigations.
Bibliographische Angaben
- Autor: Klaus Graff
- 2013, 1995, 216 Seiten, Englisch
- Verlag: Springer Berlin Heidelberg
- ISBN-10: 3642975933
- ISBN-13: 9783642975936
- Erscheinungsdatum: 08.03.2013
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 22 MB
- Ohne Kopierschutz
- Vorlesefunktion
Sprache:
Englisch
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