Mikrosystemtechnik auf Silizium (PDF)
Die Mikrosystemtechnik wird auf der Basis der CMOS-Technologie aufbauend in ihren Teilgebieten Mikroelektronik, Integrierte Optik und Mikromechanik diskutiert. Nach einer Einführung in die technologischen Grundlagen der drei bislang getrennten Disziplinen...
sofort als Download lieferbar
Printausgabe 49.95 €
eBook (pdf) -26%
36.99 €
18 DeutschlandCard Punkte
sammeln
- Lastschrift, Kreditkarte, Paypal, Rechnung
- Kostenloser tolino webreader
Produktdetails
Produktinformationen zu „Mikrosystemtechnik auf Silizium (PDF)“
Die Mikrosystemtechnik wird auf der Basis der CMOS-Technologie aufbauend in ihren Teilgebieten Mikroelektronik, Integrierte Optik und Mikromechanik diskutiert. Nach einer Einführung in die technologischen Grundlagen der drei bislang getrennten Disziplinen werden verschiedene Wege zur monolithischen Integration der einzelnen Systemkomponenten auf einem Siliziumchip vorgestellt. Besondere Aufmerksamkeit wird dabei der Herstellung von Lichtwellenleitern auf Siliziumsubstrat und der Optimierung der Schnittstellen der Integrierten Optik und der Mikromechanik zur Mikroelektronik gewidmet. Anhand real gefertigter Muster erfolgt eine vergleichende Bewertung der vorgestellten Techniken zur Systemintegration, wobei auch Aspekte der industriellen Herstellung beachtet werden. Die Leistungsfähigkeit der Mikrosystemtechnik auf Silizium wird anhand eines monolithisch integrierten mikromechanischen Drucksensors mit interferometrischer Auslesetechnik und analoger/digitaler CMOS-Signalverarbeitung verdeutlicht. Das Buch gibt einen Einblick in die verschiedenen Disziplinen der Siliziumtechnologie. Es wendet sich an Studenten und Ingenieure der Fachrichtungen Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Mechatronik.
Autoren-Porträt von Ulrich Hilleringmann
Priv.-Doz. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann, Univ. Dortmund
Bibliographische Angaben
- Autor: Ulrich Hilleringmann
- 2013, 1995, 229 Seiten, Deutsch
- Verlag: Vieweg+Teubner Verlag
- ISBN-10: 3322927660
- ISBN-13: 9783322927668
- Erscheinungsdatum: 09.03.2013
Abhängig von Bildschirmgröße und eingestellter Schriftgröße kann die Seitenzahl auf Ihrem Lesegerät variieren.
eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 22 MB
- Ohne Kopierschutz
- Vorlesefunktion
Kommentar zu "Mikrosystemtechnik auf Silizium"
0 Gebrauchte Artikel zu „Mikrosystemtechnik auf Silizium“
| Zustand | Preis | Porto | Zahlung | Verkäufer | Rating |
|---|
Schreiben Sie einen Kommentar zu "Mikrosystemtechnik auf Silizium".
Kommentar verfassen