Physics of Radiofrequency Capacitive Discharge (PDF)
(Sprache: Englisch)
This book describes the physical mechanism of high-frequency (radio-frequency) capacitive discharge (RFCD) of low and medium pressure and the properties of discharge plasma in detail. The work is intended for scientists engaged in gas discharge physics and...
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Produktinformationen zu „Physics of Radiofrequency Capacitive Discharge (PDF)“
This book describes the physical mechanism of high-frequency (radio-frequency) capacitive discharge (RFCD) of low and medium pressure and the properties of discharge plasma in detail. The work is intended for scientists engaged in gas discharge physics and low-temperature plasmas, and relevant specialties.
Autoren-Porträt von V. P. Savinov
V. P. Savinov
Bibliographische Angaben
- Autor: V. P. Savinov
- 2018, 1. Auflage, 342 Seiten, Englisch
- Verlag: Taylor & Francis
- ISBN-10: 0429894236
- ISBN-13: 9780429894237
- Erscheinungsdatum: 23.05.2018
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 8.44 MB
- Ohne Kopierschutz
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Sprache:
Englisch
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