Plasma Processing of Semiconductors / NATO Science Series E: Bd.336 (PDF)
(Sprache: Englisch)
Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and...
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Produktinformationen zu „Plasma Processing of Semiconductors / NATO Science Series E: Bd.336 (PDF)“
Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications.
Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.
Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.
Bibliographische Angaben
- 2013, 1997, 613 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: P. F. Williams
- Verlag: Springer Netherlands
- ISBN-10: 9401158843
- ISBN-13: 9789401158848
- Erscheinungsdatum: 11.11.2013
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 53 MB
- Mit Kopierschutz
- Vorlesefunktion
Sprache:
Englisch
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