Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing (PDF)
(Sprache: Englisch)
Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of...
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Produktinformationen zu „Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing (PDF)“
Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.
Bibliographische Angaben
- 2018, 368 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: James Moyne, Enrique Del Castillo, Arnon M. Hurwitz
- Verlag: Taylor & Francis
- ISBN-10: 1420040669
- ISBN-13: 9781420040661
- Erscheinungsdatum: 08.10.2018
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 6.35 MB
- Mit Kopierschutz
- Vorlesefunktion
Sprache:
Englisch
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