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Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen (PDF)

Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen
 
 
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Kommentar zu "Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen"
 
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