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Spacer Engineered FinFET Architectures (PDF)

High-Performance Digital Circuit Applications (Sprache: Englisch)
 
 
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This book focusses on the spacer engineering aspects of novel MOS-based device-circuit co-design in sub-20nm technology node, its process complexity, variability, and reliability issues. It comprehensively explores the FinFET/tri-gate architectures with...
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