Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII (PDF)
Selected, peer reviewed papers from the 8th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS) held in Antwerp, Belgium, September 18-20, 2006
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Selected, peer reviewed papers from the 8th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS) held in Antwerp, Belgium, September 18-20, 2006
- 2007, 400 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: Paul W. Mertens, Marc Meuris, Marc Heyns
- Verlag: Trans Tech Publications
- ISBN-10: 3038131954
- ISBN-13: 9783038131953
- Erscheinungsdatum: 20.11.2007
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