Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces X (PDF)
Selected, peer reviewed papers from the 10th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), September 20-22, 2010, Ostend, Belgium
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Selected, peer reviewed papers from the 10th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), September 20-22, 2010, Ostend, Belgium
- 2012, 356 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: Paul Mertens, Marc Meuris, Marc Heyns
- Verlag: Trans Tech Publications
- ISBN-10: 3038137006
- ISBN-13: 9783038137009
- Erscheinungsdatum: 12.04.2012
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