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Micro and Nano Scale NMR
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Thermoelectric Energy Conversion
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Resonant MEMS
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Micro Energy Harvesting
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Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices
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Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices
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Reliability of MEMS
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Micro Process Engineering
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CMOS-MEMS

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Micro Process Engineering
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CMOS - MEMS

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MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications
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Fast Simulation of Electro-Thermal MEMS

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Tamara Bechtold, Evgenii B. Rudnyi, Jan G. Korvink

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Semiconductors for Micro- and Nanotechnology

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Jan G. Korvink, Andreas Greiner

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Microengineering of Metals and Ceramics
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Advanced Micro and Nano Systems
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Inkjet-based Micromanufacturing
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LIGA and its Applications
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