Vakuumbeschichtung
Bd.2 Anlagen und Verfahren

 
 
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Das Buch behandelt folgende Schwerpunkte:
Das Aufdampfen im Hochvakuum
Das Ionenplattieren
Die Kathodenzerstäubung
Teilchengestützte Verfahren
Die Erzeugung von Mikrostrukturen
Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD)
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Bestellnummer: 3320289

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Kommentar zu "Vakuumbeschichtung<br/>Bd.2 Anlagen und Verfahren"
 
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