Vakuumbeschichtung
Bd.2 Anlagen und Verfahren
Das Buch behandelt folgende Schwerpunkte:
Das Aufdampfen im Hochvakuum
Das Ionenplattieren
Die Kathodenzerstäubung
Teilchengestützte Verfahren
Die Erzeugung von Mikrostrukturen
Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD)
Das Aufdampfen im Hochvakuum
Das Ionenplattieren
Die Kathodenzerstäubung
Teilchengestützte Verfahren
Die Erzeugung von Mikrostrukturen
Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD)
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Das Buch behandelt folgende Schwerpunkte:
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Das Ionenplattieren
Die Kathodenzerstäubung
Teilchengestützte Verfahren
Die Erzeugung von Mikrostrukturen
Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD)
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Das Ionenplattieren
Die Kathodenzerstäubung
Teilchengestützte Verfahren
Die Erzeugung von Mikrostrukturen
Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD)
Bibliographische Angaben
- 1995, XIII, 480 Seiten, mit Schwarz-Weiß-Abbildungen, Maße: 24,5 cm, Gebunden, Deutsch
- Hrsg. v. Gerhard Kienel u. Klaus Röll
- Verlag: VDI
- ISBN-10: 3540622667
- ISBN-13: 9783540622666
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