Chemistry of Atomic Layer Deposition (PDF)
This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic...
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This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.
Seán Thomas Barry, Carleton University, Ottawa, Canada.
- Autor: Seán Thomas Barry
- 2021, 1. Auflage, 113 Seiten, Englisch
- Verlag: Walter de Gruyter GmbH & Co.KG
- ISBN-10: 3110712539
- ISBN-13: 9783110712537
- Erscheinungsdatum: 08.11.2021
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- Dateiformat: PDF
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