Silizium-Halbleitertechnologie (PDF)
Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden...
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Produktdetails
Produktinformationen zu „Silizium-Halbleitertechnologie (PDF)“
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.
Der Inhalt
Die Zielgruppen
Der Autor
- Herstellung von Siliziumscheiben
- Oxidation des dotierten Siliziums
- Lithografie
- Ätztechnik
- Dotiertechniken
- Depositionsverfahren
- Metallisierung und Kontakte
- Scheibenreinigung
- MOS-Technologien zur Schaltungsintegration
- Erweiterungen zur Höchstintegration
- Transistoren mit Nanometer-Abmessungen
- Bipolar-Technologie
- Montage integrierter Schaltungen
Studierende der Fachrichtungen Elektronik, Elektrotechnik, Materialwissenschaften, Mikrosystemtechnik, Informatik und Physik
Prozessingenieure aus der Halbleiterfertigung, Mikrotechnologen und Schaltungsentwickler
Der Autor
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.
Autoren-Porträt von Ulrich Hilleringmann
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.
Bibliographische Angaben
- Autor: Ulrich Hilleringmann
- 2023, 8. Aufl. 2023, 309 Seiten, Deutsch
- Verlag: Springer Fachmedien Wiesbaden
- ISBN-10: 3658423781
- ISBN-13: 9783658423780
- Erscheinungsdatum: 26.10.2023
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 6.67 MB
- Ohne Kopierschutz
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