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MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications

A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications (Sprache: Englisch)
 
 
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A cohesive guide on the design and analysis of micro-electro-mechanical systems (MEMS) that fills a void created by a lack of industry standards. Leading experts cover a wide range of industrial applications satisfying the demand for literature on analysis and design of Microsystems.
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